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Thinning
以蝕刻液進行表面微蝕刻,藉以去除因研磨產生的破壞層,晶片表面厚度再減薄及粗化,降低或釋放應力。
Thinning
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CVD
chemical vapor deposition,簡稱CVD,是一種用來產生純度高、效能好的固態材料的化學技術,使用此技術來成長薄膜。
CVD
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E500ph
E500ph
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