套刻 Overlay

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    Overlay Finder 系列

    針對化合物前道工藝特點，推出適用於SiC/GaN/GaAs的套刻量測儀,通過制定寬光譜高光強光源和雙聚焦演算法，專門解決透光和厚膠引起的套刻問題。
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    Overlay 套刻-產品比较

    減少overlay誤差對於提高產量和可靠性，並且確保元件符合性能規格而言非常重要。