新機台

  1. 新機台
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    E1100D系列

    E1100D雙腔電子束蒸發系統是一款大型電子束蒸發系統， 適合大批量生產。
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    E800D系列

    E800D雙腔電子束蒸發系統是一款通用電子束&電阻蒸發系統，適合於研發。
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    E500D系列

    E500D雙腔電子束蒸發系統是一款通用電子束&電阻蒸發系統，適合於研發和小批量生產。
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    E550電子束蒸發系統

    E550型是一款通用型電子束蒸發系統，適合半導體、 LED、電力電子等行業晶片的科研及小批量生產。
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    T550I 銦點陣專用電阻蒸發系統

    T550I 型是一款專用銦點陣蒸發系統，適合Indium Bump點陣工藝，及紅外、量子、顯示等晶片科研及生產。
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    E360電子束&電阻蒸發系統

    E360型是一款研髮型電子束&電阻蒸發系統，適合金屬/介質薄膜沉積工藝，以及光電等領域科研及小批量生產。
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    Overlay Finder 系列

    針對化合物前道工藝特點，推出適用於SiC/GaN/GaAs的套刻量測儀,通過制定寬光譜高光強光源和雙聚焦演算法，專門解決透光和厚膠引起的套刻問題。
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    Overlay 套刻-產品比较

    減少overlay誤差對於提高產量和可靠性，並且確保元件符合性能規格而言非常重要。
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    缺陷檢測AOI指標

    運用AI輕易的找出人員難以查驗的瑕疵和錯誤。無論是各種產業，如半導體業、電子業或傳產業，都可達到快速又超高標辨識率。
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    AOI 競品比較

    AOI 競品比較一覽表
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    藍膜AOI

    藍膜AOI
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    光罩CD 量測

    光罩CD量測，從UV到可見光範圍的光譜，並單波長輸出能量滿足量測要求。