黃光區 (Photo)

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    Overlay Finder 系列

    針對化合物前道工藝特點，推出適用於SiC/GaN/GaAs的套刻量測儀,通過制定寬光譜高光強光源和雙聚焦演算法，專門解決透光和厚膠引起的套刻問題。
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    Overlay 套刻-產品比较

    減少overlay誤差對於提高產量和可靠性，並且確保元件符合性能規格而言非常重要。
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    缺陷檢測AOI指標

    運用AI輕易的找出人員難以查驗的瑕疵和錯誤。無論是各種產業，如半導體業、電子業或傳產業，都可達到快速又超高標辨識率。
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    AOI 競品比較

    AOI 競品比較一覽表
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    藍膜AOI

    藍膜AOI
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    光罩CD 量測

    光罩CD量測，從UV到可見光範圍的光譜，並單波長輸出能量滿足量測要求。