薄膜區 (TF)

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    E1100D系列

    E1100D雙腔電子束蒸發系統是一款大型電子束蒸發系統， 適合大批量生產。
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    E800D系列

    E800D雙腔電子束蒸發系統是一款通用電子束&電阻蒸發系統，適合於研發。
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    E500D系列

    E500D雙腔電子束蒸發系統是一款通用電子束&電阻蒸發系統，適合於研發和小批量生產。
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    E550電子束蒸發系統

    E550型是一款通用型電子束蒸發系統，適合半導體、 LED、電力電子等行業晶片的科研及小批量生產。
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    T550I 銦點陣專用電阻蒸發系統

    T550I 型是一款專用銦點陣蒸發系統，適合Indium Bump點陣工藝，及紅外、量子、顯示等晶片科研及生產。
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    E360電子束&電阻蒸發系統

    E360型是一款研髮型電子束&電阻蒸發系統，適合金屬/介質薄膜沉積工藝，以及光電等領域科研及小批量生產。