ACT 8/12 光阻塗顯影機

Track ACT12和Clean Track ACT8是目前世界上最常使用12寸/8 寸的塗膠/顯影設備，主要特點有高產能；緊湊的機器結構；高穩定生產時間；高兼容性。

此種機種能夠提供延伸外部空氣過濾器，以及優良均一性的曝光加熱模組。高速的機械手臂，高效的生產能力能滿足曝光機的生產需求。最優化的機器結構，出眾的模組可靠性貢獻了非常卓越的高穩定可靠的工作時間。