AOI（Automated Optical Inspection縮寫）的中文全稱是自動光學檢測，是新興起的一種新型測試技術，基於光學原理來處理缺陷。
鉬可可提供自主開發，配合客戶不同缺陷以及不同器件定制化回應速度快。在檢測下输出die不良分布图以及缺陷分布图；通過監視器自動檢測物鏡2X,5X,7.5X,10X,20X，資料分析測量系統，晶圓真空吸附chuck，wafer預對準系統，並採集影像，與資料庫中的合格的參數進行比較，經過圖像處理，檢查出缺陷，提供人員修整數據和標誌，减少修理成本並提高生產效率。