光罩CD 量測
光罩CD 量測
光罩CD 量測
光罩CD量測，從UV到可見光範圍的光譜，並單波長輸出能量滿足量測要求。
詳細介紹
在此製程階段中，光罩CD 量測，可測量晶片內精密如次微米電路之微距，更能夠確保製程之正確性。採用sony uv增強晶片，2.4um小圖元高解析，150x 物鏡，可以獲得最小尺寸，提高準確穩定度，以此重要製成確認光罩需保持在最良好的狀態，便能夠呈現完整且完美的電路圖像；若不完整的圖像會被複製到晶圓上，則會造成相當大的成本損失。
因此，當晶圓在每個製程進行時， 圖案晶圓檢測系統便可用來檢測晶圓上是否有任何缺失或瑕疵，如微塵粒子、斷線等問題。 此外，對已印有電路圖案的圖案晶圓成品而言，則可以透過此機台來做深次微米範圍之瑕疵檢測。