CANON光刻曝光機主要原理是利用紫外線通過光罩、底片等圖案模版,並搭配顯影劑使用,去除晶圓表面的光阻,以形成積體電路圖案。其實像幻燈機一樣簡單,就是把光透過帶電路圖的掩膜(Mask,後來也叫光罩)投影到塗有光敏膠的晶圓上。我們可以依客戶需求提供機台,安裝及保固服務。